如圖所示，此控制器利用mems技術製作之電容式加速規來感測加速度，基本原理為當silicon beam(綠色部份)受到一方向作用時，會產生彎曲，因此與旁邊兩塊電容板(藍色部份)產生電場的變化，而利用電路將此變化解析成可用的訊號，因此達到了電容式加速規的作用。
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