微機電系統(Micro ElectroMechanical System，MEMS)，其定義為一個智慧型微小化的系統，包含微感測器及微致動器，其中所使用之技術，包括了電子、機械、光學、化學、生物、磁學或其他性質整合到一個單一或是多晶片上。因此應用領域極為廣泛。而其中微小化、製程精準度及批次量製的特性更是MEMS發展至今最有優勢的地方。

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